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縫閥 XGT

高真空元件 ? 縫閥／門式閥
    ?適用于半導體裝置等的負載鎖定室和傳送腔室
    　及傳送腔室和工藝腔室之間的隔離閥。
系列使用環境壓力（Pa）使用流體開口窗尺寸
（高×寬）（mm）		動作壓力
（MPa）
XGT大氣壓～10-6惰性氣體類相關真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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