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鋁材質高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152

高真空元件 ? 高真空閥
    ?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160）
    ?壽命：200萬次
    ?可實現裝置的省空間化
    　無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可)
    　安裝姿勢的自由度提升
    ?輕量、緊湊
系列操作方式閥形式軸密封方式用途法蘭尺寸
LA-100?160-X152氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		100，160
XLC-100?160-1-X152氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化		100，160

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