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IN_PROD_346
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鋁制高真空L型閥 XL□
高真空元件 ? 高真空閥
| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLAV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLC | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～160 |
| XLCV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～80 |
| XLF | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLFV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLG | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLGV（帶電磁閥） | 氣控式 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～80 |
| XLD | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLDV（帶電磁閥） | 氣控式 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLH | 手動式 | 手動 | 波紋管密封 | 無塵 清潔化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 單作用 （N.C.） | (波紋管平衡) | 無需空氣 可搬運裝置用 | 16，25 |
