●卡門渦街式
在流體中放置棒狀物體(旋渦發生體)后,下流方向會交替地產生旋渦。產生的旋渦在一定條件下保持穩定,其頻率與流速成正比,并符合下面的方程式。
f=k×v
f:旋渦的頻率、v:流速、k比例常數(由旋渦發生體的尺寸、形狀決定) 因此、根據檢測出的頻率來計算流量。
●氣體用
適用流體:空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳
空氣的質量等級為JIS B8392.1-1. 1.2~1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2~1.6.2
●水用
適用流體:水
水50%+乙二醇50%
●脫離子水(純水)?化學液用
適用流體:脫離子水(純水)
超純水
不會腐蝕配管材料的流體
●熱式(MEMS式)
以高分子膜上的用白金薄膜制作的加熱器(Rh)為中心,對稱設置的上流測溫傳感器(Ru)和下流測溫傳感器(Rd),以及用于測量氣體溫度用的環境溫度傳感器(Ra),共同構成了MENS傳感器芯片。
原理如下圖所示,Ru和Rd的電阻值之差與流動氣體的流速成正比,因此檢測其電阻值并進行計算后,就可得知氣體的流向及流速。
Ra用于補償氣體溫度及環境溫度。
本流量開關的流量單位采用L/min表示,質量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa狀態之間進行轉換。
氣體用
適用流體:空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳
空氣的質量等級為JIS B8392.1-1. 1.2~1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2~1.6.2
●熱式(熱敏電阻式)
在流路中安裝加熱后的熱敏電阻,在流體流過后,流體會將熱敏電阻的熱量帶走。
熱敏電阻由于熱量被帶走,電阻值增加,其增加率和流體的流速具有特定的關系,因而檢測其電阻值就可得到流速。此外,為了補償流體溫度及環境溫度而內置了溫度傳感器,因此可在工作溫度范圍內進行穩定的測量。
本流量開關的流量單位采用L/min表示,質量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa狀態之間進行轉換。