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真空單元 ZX
真空用元件 ? 真空發生器、真空泵系統
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?對應發生器系統／真空泵系統。
?采用模塊式設計，可根據所需功能進行組合。
?最適合用于100g以下的電子零件或小型精密零部件。
?可集裝化。
※ZX（搭載數字式壓力開關ZSE3）已于2019年6月停產，請選擇ZQ系列、ZK系列。
| 系列 | 噴嘴徑 (mm) | 最大吸入流量 ［L/min(ANR)] | 空氣消耗量 ［L/min(ANR)] | 適合吸盤 (mm) | 真空泵系統系列 |
|---|---|---|---|---|---|
| ZX105 | 0.5 | 5 | 13 | 2～13 | ZX100 |
| ZX107 | 0.7 | 10 | 23 | 2～20 | ZX100 |
| ZX110 | 1.0 | 22 | 46 | 2～25 | ZX100 |
