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製品選定ガイド

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製品選定ガイド圧縮空気清浄化機器

低露點クリーンエア(クリーンルーム用エア)

用途例

  • クリーンルーム內での半導體部品のブロー

清浄化システム

シリーズ名をクリックすると詳細ページが表示されます。

AT,HAA/HAW:エアコンプレッサに取付いている場合は不要。

AT:スクリューコンプレッサの場合、蓄圧を目的とする場合は必要。

圧縮空気中の不純物

品質等級

注1)入口側のオイルミスト濃度(コンプレッサ吐出濃度)が約30mg/m3(ANR)以下の場合。

注2)ISO8573-1:2010(JIS B8392-1:2012)による圧縮空気品質等級を示し(上記參照)、そのシステムで得られる最高品質等級を表記しています。ただし、入口空気條件により異なります。

注3)特注対応可能(使用條件による)ですのでお問合せください。

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