産業用ロボット向機器

クリーンロボット低真空

※1 真空破壊用エアのクリーン化はされておりません。詳細は當社にお問合せください。

クリーンシリーズ以外の機器の場合、設置條件（要求クリーン度、使用箇所など）をご確認の上ご選定ください。