|靜電気はなぜおきる?
靜電気の原理
すべての物質は拡大すると原子になります。
原子には一つの陽子と、陽子を取り巻く陽子と電気的にバランスが取れるだけの電子があります。
電子はちょっとした力で外れたり、外部からくっ付いたりします。
陽子と電子のバランスの崩れが靜電気として発生します。
靜電気なし(0V) | プラス帯電(+) | マイナス帯電(-) |
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とがバランスしており、靜電気はありません。 | 電子(-)が飛出しての數が多くなると、帯電の狀態になります。 | 外部からの電子(-)が飛込む事と、の數が多くなり帯電の狀態になります。 |
|帯電の原因
1. 接觸帯電
2つの物體が接觸すると物體間を電子が移動できるようになります。
この狀態で急に引き離されると電子の偏りが発生し、靜電気として現れます。
それぞれの物體は陽子と電子の數が同じで、電気バランスが取れた狀態です。それぞれ電位(靜電気)を発生していません。 |
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物體が接觸すると仕事関數の小さいワークから、仕事関數の大きなワークに電子(-)が移動する。
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物體を急激に分離すると電子に偏りが発生し、電子の數によりマ イナス帯電またはプラス帯電の狀態になる。 |
帯電極性と帯電量の大きさ
帯電列
2つの物質が接觸した場合の『帯電極性』『帯電量の大きさ』は
帯電列表で読み取る事ができます。
帯電列の見方
- 1:帯電極性
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帯電列で上段にある物質が+、
下にある物質が-に 帯電する。
例1:ガラス(+)ポリエステル(-)
例2:ポリエステル(+)フッ素樹脂(-) - 2:帯電の大きさ
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帯電列表で離れた物質ほど帯電量が大きくなります。
例1:人體とナイロンの帯電量(小)
例2:人體とポリウレタンの帯電量(大)
2. 誘導帯電
誘導帯電とは帯電した物體が近くに接近する事により、接觸なしに発生する靜電気です。 実際に物體が接觸しないため発見しにくい靜電気です。
+と-のバランスが取れており表面電位計は帯電量を示さない。
帯電物が接近すると電子が引き寄せられ電子の偏りが生じ、表面電位測定器では+を示す。
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誘導帯電による障害例
デバイス破壊1
1) 帯電していないデバイスは電気的な偏りがない。
2) 繰り返し作業により帯電した真空パッドなどが接近すると靜電誘導が発生します。図では電子が電極 側に押しやられ、チップ付近はプラス帯電狀態、電極部はマイナス帯電狀態になっています。
3) この狀態で基盤にマウントしようとすると靜電気放電が発生してしまいます。このような場合は導電性ゴムのパッドを使用する必要がありま す。
デバイス破壊2
1) 帯電していないデバイスは電気的な偏りがない。
2) 作業者が近寄ることにより誘導帯電が発生し、作業者側がマイナス帯電、反対側がプラス帯電狀態になる。
3) この狀態で接地すると靜電気放電が発生する。グランドから電子(-)が流入する事。
4) 絶縁した狀態で作業者が離れると殘ったマイナス帯電狀態になる。
5) 再接地すると再度靜電気放電が発生する。
電子(-)が流出する事。
|イオンの付著による帯電
紫外線を使用する裝置など、イオンを発生させる裝置があります。
発生したイオンがワークに付著すると帯電した狀態になります。
イオンってなに?
?イオンとは、分子(原子)が僅かに電気を帯びた狀態を言います。
?イオナイザの場合、空気中の酸素分子(原子)や、窒素分子(原子)などをプラスや、マイナスにイオン化します。