●カルマン渦式
流れの中に棒狀の物體（渦発生體）を置くとその下流側に交互に渦が発生します。この渦はある條件では安定であり、その周波數は流速に比例し以下の式が成り立ちます。
f=k×v
f：渦の周波數、v：流速、k：比例定數（渦発生體の寸法、形狀などによって決まる）したがって、この周波數を検出することによって、流量を計測できます。
●空気用
適用流體：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質等級は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●水用
適用流體：水
水50%+エチレングリコール50%
●脫イオン水（純水）?薬液用
適用流體：脫イオン水（純水）
超純水
配管材を腐食させない流體
●熱式(MEMS方式)
メンブレン上に製作された白金薄膜によるヒータ(Rh)を中心に、対稱に配置された上流測溫センサ(Ru)と、下流測溫センサ(Rd)および気體の測溫用として周囲溫度センサ(Ra)から、本MEMSセンサチップは構成されます。
原理は下図のとおり、RuとRdの抵抗値の差は、流れる気體の流速に比例するため、その抵抗値を測定し演算処理することにより、気體の流れ方向と流速を知ることができます。
Raは気體の溫度、または周囲溫度の補償用として用いられます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa狀態(tài)の換算に切換えが可能です。
空気用
適用流體：空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素
空気の品質等級は、JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●熱式(サーミスタ方式)
流路中に加熱したサーミスタを搭載し、そこに流體を流すと流體はサーミスタから熱を奪います。
サーミスタは熱を奪われることで抵抗値が上昇しますが、上昇率は流體の流速と一意的な関係があるので、この抵抗値を計測することによって流速を検出できます。さらに流體溫度や周囲溫度を補償するために溫度センサも內蔵されていますので、使用溫度範囲內では安定した測定ができます。
本フロースイッチの流量単位表示は、L/minを使用していますが、質量流量を0℃, 101.3kPaと、20℃, 101.3kPa狀態(tài)の換算に切換えが可能です。
