溫調機器 » サーモチラー - 製品一覧
HRS
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HRS100/150
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HRSH
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HRR
HRZ-F
HRZ
HRZ |
サーモチラー/高機能タイプ HRZ
産業用通信機器/無線システム ? 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器産業用通信機器/無線システム ? その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム ? その他 RS485 対応機器
溫調機器 ? サーモチラー(循環液溫調裝置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中國?臺灣?韓國?シンガポール
マレーシア?日本のみ限定出荷品
マレーシア?日本のみ限定出荷品
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?高い溫度安定性、ワイドな溫度レンジ、故障診斷、外部通信など充実裝備で
半導體プロセス裝置に実績多數。
?各種安全規格に対応。
?UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定溫度 範囲 | 冷卻能力 | 溫度 安定性 | 冷卻方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水?脫イオン水(純水) |