●ARW幅（アンチリセットワインドアップ幅）
PID制御に使用する積分動作の範(fàn)囲。積分成分が蓄積される
のを抑制するために、積分項目を計算する範(fàn)囲を指定する
ために用いる値。
●SEMI S8
SEMI S8は、SEMI S2の14項の人間工學(xué)に関する要求に加え、さらに詳しい人間工學(xué)に関するガイドラインである。
●SEMI F47
SEMI F47はSEMI規(guī)格の內(nèi)、電圧サグイミュニティ（瞬時電圧低下に対する耐性）について規(guī)定されたガイドラインである。
溫調(diào)機器にはSEMI S2と同様に半導(dǎo)體製造ユーザから求められる規(guī)格である。
●SEMI S2
SEMIは半導(dǎo)體製造裝置?フラットパネルディスプレイ製造裝置と材料メーカの國際的な業(yè)界団體で、獨自のSEMIスタンダードを半導(dǎo)體製造裝置の設(shè)計に関する安全ガイドラインとして制定している。
SEMI S2には、半導(dǎo)體製造に使用される裝置に対する作業(yè)環(huán)境、衛(wèi)生および安全についてその要求事項は、化學(xué)、放射、電気、物理、機械、環(huán)境、火災(zāi)、地震、排気、人間工學(xué)、さらに、品質(zhì)、文書、マニュアルなどに及んでいる。
多くの半導(dǎo)體製造者は、工場で稼動する裝置に対してSEMIS2に適合することを求める。
●SV値
SV：Set Value 溫調(diào)機器においては、溫度コントロールを行う目標(biāo)溫度（設(shè)定溫度）を示す。
●エチレングリコール水溶液
エチレングリコールはアルコールの一種で、水に添加することで水の凝固點を下げることができる。自動車用不凍液などの主成分ともなっている。60％濃度での凝固點は約－40℃以下であるが、低溫になると粘度が増加するので、流動性を考えると－20℃程度が実用的に使える最低溫度である。
また脫イオン水（純水）にエチレングリコールを添加することで、流體の比抵抗を上げることができるので、絶縁性の高い循環(huán)液がほしい場合の用途にも使われる。
●NRTL
NRTL（National Recongnized Test Laboratories 國家認定試験機関）
OSHA（米國労働安全局）が定める労働安全衛(wèi)生法によって認められた、UL規(guī)格、CSAなどの認証が行える試験機関のこと。現(xiàn)在18機関がNRTLとして認められている。ULやCSAも認証機関の一つ。
