●清水

指經過過濾、蒸餾，去除了雜質的水，也稱精制水。

●去離子水（純水）

去除了雜質及離子的水。在經過粒子過濾器過濾掉雜質后，再由離子交換樹脂去除離子后所得的水。理論上電阻率的極限值為18.3MΩ?cm，而實際不可能達到該數值，通常將1～10MΩ?cm左右的水稱為去離子水（純水）。