●限水閥

安裝于水冷式冷凝器的冷卻水配管，可調節流入水冷式冷凝器的冷卻水流量的控制閥。有壓力式、溫度式等，可反饋冷凝壓力、冷凝溫度并調節閥的開度。
冷卻水的溫度低時，若流入水冷式冷凝器的冷卻水流量過大，會導致冷凝壓力下降，冷卻能力降低。此時限水閥會對冷卻水進行節流，使冷凝壓力保持在希望的數值。另外不會使過量的冷卻水流過的節水效果也是限水閥的一項功能。

●旋渦泵

泵的形式之一。通過泵室中的葉輪旋轉，使流體獲得離心力，將該力轉換為壓力并將流體輸出。雖然與離心式泵相同，都是依靠離心力輸出流體，但渦輪泵相對于離心式泵葉輪，葉片數更多、與泵室內壁的間隙更小，是一種可輸出更高的壓力的構造。
可以得到處于離心式泵和葉片泵之間的壓力和流量特性。
這是一種中揚程、中流量的泵。

●循環液、恒溫循環液

由溫控器控制溫度，在客戶裝置間循環的流體。
應考慮凍結溫度、沸點、絕緣性等因素并結合用途選擇清水、去離子水（純水）、乙二醇水溶液或氟化液等作為循環液。

●信號輸入輸出、I/O

警報信號、運轉信號等的輸入輸出信號。根據型號的不同，有繼電器輸出、集電極開路輸出等。由于有各種各樣的通信方法，所以在配線前需要確認其通信標準。