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產(chǎn)品目錄

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縫閥

縫閥 XGT

    ?適用于半導(dǎo)體裝置等的負(fù)載鎖定室和傳送腔室
     及傳送腔室和工藝腔室之間的隔離閥。
系列使用環(huán)境壓力(Pa)使用流體開口窗尺寸
(高×寬)(mm)
動作壓力
(MPa)
XGT大氣壓~10-6惰性氣體類相關(guān)真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6

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