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高真空閥

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鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G

    ?采用鋁制主體
    　均一的烤焙溫度
    　輕量·緊湊
    　氣體溢出少
    　重金屬污染少
    ?可更換波紋管
系列操作方式閥形式軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA-2氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		16～80
XLAV-2（帶電磁閥）氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		16～80
XLC-2氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化		16～80
XLF-2氣控式單作用
（N.C.）		O形圈密封高速動作
高動作次數		16～80
XLFV-2（帶電磁閥）氣控式單作用
（N.C.）		O形圈密封高速動作
高動作次數		16～80
XLG-2氣控式雙作用O形圈密封高速動作
高動作次數		16～80

鋁材質高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152

    ?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160）
    ?壽命：200萬次
    ?可實現裝置的省空間化
    　無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可)
    　安裝姿勢的自由度提升
    ?輕量、緊湊
系列操作方式閥形式軸密封方式用途法蘭尺寸
LA-100?160-X152氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		100，160
XLC-100?160-1-X152氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化		100，160

鋁制高真空L型閥 XL□

    ?耐氟性強
    ?氣體溢出少
    ?重金屬污染小

    ※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進行了產品變更。
    　 請選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
系列操作方式閥形式軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		16～160
XLAV（帶電磁閥）氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封無塵
清潔化		16～160
XLC氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化		16～160
XLCV（帶電磁閥）氣控式雙作用波紋管密封無塵
清潔化		16～80
XLF氣控式單作用
（N.C.）		O形圈密封高速動作
高動作次數		16～160
XLFV（帶電磁閥）氣控式單作用
（N.C.）		O形圈高速動作
高動作次數		16～160
XLG氣控式雙作用O形圈高速動作
高動作次數		16～160
XLGV（帶電磁閥）氣控式雙作用O形圈高速動作
高動作次數		16～80
XLD氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封
O形圈密封		防止揚塵
防止泵過載		25～160
XLDV（帶電磁閥）氣控式單作用
（N.C.）		波紋管密封
O形圈密封		防止揚塵
防止泵過載		25～160
XLH手動式手動波紋管密封無塵
清潔化		16～50
XLS電磁式單作用
（N.C.）		(波紋管平衡)無需空氣
可搬運裝置用		16，25

鋁制快速裝卸型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ

    ?快速裝卸（無需工具）。
系列操作方式軸密封
方式		閥形式材質法蘭
尺寸
XLAQ氣控式波紋管密封單作用
（N.C.）		主體：鋁
波紋管：SUS316L		16～50
XLDQ氣控式波紋管密封
O形圈密封		單作用
（N.C.）		主體：鋁
波紋管：SUS316L		40，50

不銹鋼制高真空L型／直通型閥 XM/XY

    ?不滯留氣體的精密鑄造一體結構
    ?與鋁制高真空L型閥XL系列有安裝互換性（XM系列）

    注）直線型無尺寸16。
系列操作方式軸密封
方式		閥形式材質法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控式波紋管密封單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYC氣控式波紋管密封雙作用主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYD氣控式波紋管密封
O形圈密封		單作用
（N.C.）		主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		25～80
XMH/XYH氣控式波紋管密封手動主體：SCS13（相當于SUS304）
波紋管：SUS316L		16～50 注）

常閉型高真空電磁閥 XSA

    ?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
    ?泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
    ?備有2種接頭、內螺紋
    ?消耗功率：最大減少25%
    ?重量：最大減輕18%　0.5kg→0.41kg
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體		面密封接頭
卡套式接頭		1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體		Rc, NPT內螺紋1/8, 1/4, 3/8

平穩通氣閥 XVD

    ?閥和針閥一體化的結構，配管空間減少1/4（與以前產品相比）
    ?密封部采用金屬膜片，微粒大幅減少
    ?可同時對初期供氣、主供氣進行流量調整
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常閉
（加壓打開?彈簧密封）		氮氣、空氣、
惰性氣體等		VCR?
Swagelok?		1/4B

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